何勇，张文庆译1988 年出版66 页ISBN：7560901654
本书概括地介绍了怎样用生物大分子来制作分子水平集成电路芯片的技术。
郭东明，康仁科著2019 年出版240 页ISBN：9787121363009
本书在介绍单晶硅的物理、化学和半导体性质，以及单晶硅片在集成电路制造中的应用和加工要求的基础上，全面系统地阐述了硅片旋转磨削原理、超精密磨削机理、超精密磨削工艺、超精密磨床，完整地总结了著者及其团...
黄建华，廖东进主编；张存彪，王森涛副主编2013 年出版190 页ISBN：9787122176936
本书主要讲解了晶硅硅片加工工艺，主要包括单晶硅棒截断、单晶硅棒与多晶硅锭开方、单晶硅块磨面与滚圆、多晶硅块磨面与倒角，多线切割、硅片清洗、硅片检测与包装等。本书根据硅片生产工艺流程，采用任务驱动、...
梁宗存，沈辉，史珺等编著2014 年出版204 页ISBN：9787122188694
太阳电池可以实现太阳光直接转换为电力，目前晶体硅太阳电池是光伏发电的主流产品。本书首先介绍了硅的物理特性、太阳电池基本结构和标准电池工艺；在介绍多晶硅原料制备原理、硅源化合物材料性能和制备基础上...
