书籍 硅片加工技术的封面

硅片加工技术

康自卫 王丽主编

出版社

北京:化学工业出版社

出版时间

2010

ISBN

9787122090584

标注页数

241 页

PDF页数

249 页

书籍介绍
本书主要介绍了硅单晶的基本特性和晶体结构、硅片生产设备的种类。
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