基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究PDF电子书下载

本书介绍了采用MEMS技术、CMOS工艺和激光加工技术，设计并制作硅杯和悬臂梁两种结构的以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的MOSFETs脉象传感器的方法，阐述了纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的制作方法，以及采用人工神经网络处理脉象检测结果的方法。

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第1章 概述 1

1.1引言 1

1.2脉象传感器的分类和研究现状 3

1.3 MOSFET压力传感器的研究现状 23

1.4纳米硅/单晶硅异质结研究现状 36

1.5纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感与检测系统的研究目的和意义 41

1.6主要研究内容 45

第2章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的理论分析与结构设计 47

2.1 MOSFETs硅脉象传感器的理论模型 48

2.2 MOSFETs硅脉象传感器的理论分析 49

2.3半导体材料压阻效应基本理论 54

2.4纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器力敏结构设计 65

2.5纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器结构模型 108

2.6本章小结 110

第3章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺 112

3.1纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺 112

3.2纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器管芯性能检测封装结构 123

3.3纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器电源激励方式 127

3.4本章小结 131

第4章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的实验结果与讨论 132

4.1纳米硅/单晶硅异质结P-MOSFET特性 132

4.2纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的静态特性研究 153

4.3悬臂梁式纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的测试 177

4.4纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的温度特性 178

4.5本章小结 187

第5章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测的系统设计与实测结果分析 190

5.1纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的概述 191

5.2纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统各功能模块的设计 192

5.3纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的脉象检测结果 203

5.4采用人工神经网络处理脉象检测结果 210

5.5本章小结 251

结论 253

参考文献 258

后记 272

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