基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究

本书介绍了采用MEMS技术、CMOS工艺和激光加工技术，设计并制作硅杯和悬臂梁两种结构的以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的MOSFETs脉象传感器的方法，阐述了纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的制作方法，以及采用人工神经网络处理脉象检测结果的方法。