张文栋等编著2012 年出版259 页ISBN：9787118078978
本书章节独立，内容充实，共分六章，第一章简述微米纳米器件测试技术的发展、意义和研究现状，第二章介绍微米纳米结构的特征几何参量测量技术，第三章介绍微米纳米结构的动态特性测试技术，第四章介绍微米纳米力学量.....
薛晨阳，张文栋等编著2008 年出版219 页ISBN：9787030223524
本书详细介绍了光谱学的理论基础和实验基础，结合作者的一系列实验结果，系统地分析了红外光谱，拉曼光谱散射，光致发光，光调制反射等光谱学测试方法，以及通过这些方法研究半导体薄膜的材料特性。本书分为六个部分.....
（美）格雷戈里 T. A.科瓦奇（Gregory T. A. Kovacs）著；张文栋等译2003 年出版673 页ISBN：7030105656
本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系，统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...
