微米纳米器件测试技术

本书章节独立，内容充实，共分六章，第一章简述微米纳米器件测试技术的发展、意义和研究现状，第二章介绍微米纳米结构的特征几何参量测量技术，第三章介绍微米纳米结构的动态特性测试技术，第四章介绍微米纳米力学量测试技术，第五章介绍MEMS在线测试技术，第六章介绍几种典型的微米纳米器件测试技术。