微传感器与微执行器全书

本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系，统的设计与工艺进行了详细的介绍。特别是本书提供了大量的参考文献，为读者参考国内外相关研究情况提供了全面的背景资料。本书可供MEMS及相关领域的专家学者、科研技术人员以及大专院校师生查阅使用。