加德纳（Gardner，J.W.），瓦拉旦（Varadan，V.K.），韦德尔卡姆（Wadelkarim，O.A.）著2004 年出版505 页ISBN：7302081220
微传感器、微机电系统（MEMS，micro-electro-mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍...
（美）Vijay K. Varadan，（美）K. J. Vinoy，（美）K. A. Jose著；赵海松，邹江波译2005 年出版300 页ISBN：7121017504
本书主要介绍了MEMS及射频MEMS、MEMS材质及制作技术、RF MEMS交换及微继电器、MEMS感应器和电容器、微机械射频虑波器、微机械移相器、微机械传输线及组成、微机械天线、RF MEMS元件的集成及封装等内容。本...
