微传感器、微机电系统和灵巧器件

微传感器、微机电系统（MEMS，micro-electro-mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍了微传感器技术，并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来，内容丰富新颖。本书适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读，对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。