RF MEMS应用指南

本书主要介绍了MEMS及射频MEMS、MEMS材质及制作技术、RF MEMS交换及微继电器、MEMS感应器和电容器、微机械射频虑波器、微机械移相器、微机械传输线及组成、微机械天线、RF MEMS元件的集成及封装等内容。本书内容丰富，实用性强。