2009 年出版246 页ISBN：9787811291261
本书主要研究基于MEMS技术与CMOS工艺制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极（S）和漏极（D）的MOSFET压/磁多功能传感器，在同一芯片上采用同一敏感器件完成对压、磁信号的同时检测，从基本结构设计、工作原理、特性分析等方...
2009 年出版131 页ISBN：9787122055002
本书包括单晶硅的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、参杂技术等内容。
2012 年出版275 页ISBN：9787122132338
本书阐述了单晶硅与多晶硅生产的基本原理和主要设备，列举了实际生产技术方面的基础知识，还给出了大量技术实例，论述了单晶硅与多晶硅生产操作方法和安全生产注意事项等。本书所列多是单晶硅与多晶硅生产企业人...
2017 年出版131 页ISBN：9787122298850
本书主要内容包括：单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、直拉单晶炉生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等。本书可作为各类职业院校太阳能光伏产业硅材料技术专业、新...
