谈治信,徐玉江编著2016 年出版369 页ISBN:9787122250650
本书分为7章,分别论述了真空装置概述、真空装置容器、真空装置抽气系统、真空泵、真空装置阀门、真空装置测量与自动化、真空装置常用制造工艺的理论与实践;特别是离子束刻蚀机作为典型的真空装置所涉及的技...
张以忱等著2013 年出版496 页ISBN:9787502461454
本书从真空系统所用材料、系统设计计算、真空系统的安装调试和操作维护等方面较详细地介绍了真空系统设计的全部内容,论述了真空系统设计与计算所用的相关基础理论,并根据国际最新设计理论和作者多年的真空系...