真空科学技术丛书 真空装置

本书分为7章，分别论述了真空装置概述、真空装置容器、真空装置抽气系统、真空泵、真空装置阀门、真空装置测量与自动化、真空装置常用制造工艺的理论与实践；特别是离子束刻蚀机作为典型的真空装置所涉及的技术问题，由于属于材料原子级加工的一种新工艺，一旦被人们所掌握，就意味着人类在微观世界实现控制加工的一个突破，它将有力地推动微电子技术、光子技术、表面科学、应用声学、材料科学、真空科学技术等向前发展。