蒋庄德等著2018 年出版319 页ISBN：9787040504781
本书讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之以对MEMS典型应用的分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作...
基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用
张玉宝，李强主编2007 年出版198 页ISBN：9787502442767
本书介绍了应用COMSOL Multiphysics有限软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以MEMS典型建模实例内容及其参考文献，图文并茂。概述了MEMS基本概念和有关COMSOL Multiphysics软件中MEMS建立模型的基本过程。...
