MEMS技术及应用

本书讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之以对MEMS典型应用的分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸，纳机电系统和石墨烯在本书的结尾部分被予以专门的讨论。为MEMS专业课程提供适用的本科和研究生教材是本书的出发点，为达此目的，本书在内容安排上注意做到基础理论知识和具体技术细节并重，力图体现作者对MEMS专业方向学生的培养理念和教学思路。