第1章 项目概况 1
1.1 项目介绍 1
1.2 项目布局 5
1.3 取得的重大进展 9
第2章 国内外研究情况 13
2.1 纳米制造的国内外研究现状 13
2.2 纳米制造的国家战略需求与发展趋势 16
2.3 我国纳米制造发展态势 21
第3章 纳米／亚纳米精度制造 27
3.1 原子层材料去除理论模型与方法 28
3.2 纳米精度制造的重要工程应用 32
3.3 纳米精度制造的工艺装备 35
第4章 宏微纳跨尺度结构一致性制造 37
4.1 电场驱动纳米压印原理与方法 38
4.2 半导体材料的电化学纳米压印原理与方法 44
4.3 大幅面纳米尺度结构的压印制造装备 48
4.4 功能化大面积纳米结构的工程应用 52
第5章 纳米结构与器件跨尺度集成制造 61
5.1 自约束纳米加工的高精度可控制造 62
5.2 外场诱导三维微纳结构制造 64
5.3 功能纳米结构的按需区域构筑 65
5.4 二维材料纳米结构的可控加工方法 68
5.5 跨尺度制造的重要工程应用 70
第6章 激光微纳制造新方法 73
6.1 超快激光时空整形微纳加工新原理、新方法 74
6.2 超快激光微纳制造过程的多时间尺度观测 76
6.3 激光微纳制造的重要工程应用 78
6.4 激光微纳制造装备 85
第7章 其他纳米制造原理与技术突破 87
7.1 功能纳米材料／结构的制备与应用 87
7.2 纳米结构的无掩膜制造 90
7.3 新型纳米器件制造 97
7.4 纳米制造中的精度计量与溯源 100
第8章 展望 105
8.1 我国纳米制造存在的不足和战略需求 106
8.2 纳米制造持续研究的设想和建议 108
参考文献 115
成果附录 131
附录1 重要论文目录 131
附录2 获得国家科学技术奖励项目一览表 160
附录3 代表性发明专利一览表 162
索引 165
