书籍 等离子体诊断  第1卷  放电参量和化学的封面

等离子体诊断 第1卷 放电参量和化学PDF电子书下载

(美)奥切洛(Auciello Orlando) (美)弗拉姆(Flamm Daniel L.)编著 郑少白等译

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15

出版社

北京:电子工业出版社

出版时间

1994

ISBN

7505321749

标注页数

468 页

PDF页数

485 页

图书目录

第一章 低气压等离子体和等离子体工艺的 1

第二章 放电光源中的等离子体诊断 51

第三章 朗缪尔探针的工作原理 118

第四章 等离子体质谱学 195

第五章 微波诊断 252

第六章 等离子体放电的顺磁共振诊断 328

第七章 热等离子体工艺中的诊断 365

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