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(美)奥切洛(Auciello Orlando) (美)弗拉姆(Flamm Daniel L.)编著 郑少白等译
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15 点
出版社
北京:电子工业出版社
出版时间
1994
ISBN
7505321749
标注页数
468 页
PDF页数
485 页
标签
参量 等离子体 等离子 放电 编著
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第一章 低气压等离子体和等离子体工艺的 1
第二章 放电光源中的等离子体诊断 51
第三章 朗缪尔探针的工作原理 118
第四章 等离子体质谱学 195
第五章 微波诊断 252
第六章 等离子体放电的顺磁共振诊断 328
第七章 热等离子体工艺中的诊断 365