书籍介绍
图书目录
目录 1
一、综述 1
二、日本集成电路发展概况及工艺 7
附件1：日本电气公司情况 52
附件2：日本冲电气公司情况 73
三、日本集成电路的制版工艺 81
四、日本集成电路生产的净化技术 86
五、日本集成电路生产设备 115
六、日本集成电路的封装外壳 169
七、日本微波半导体器件的发展概况 175
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