书籍介绍
脑机接口需要稳定，可靠的电极阵列，本文介绍了微电极阵列的研究进展和意义，着重展示了三种基于柔性衬底的针尖电极阵列的设计背景、加工及应用，包括空心针尖神经电极阵列、基于SOI(silicon-on-insulator)的三维针尖电极阵列、基于硅玻璃键合片的三维针尖电极阵列，柔性衬底使得阵列能贴合组织自然曲面，针尖能更好地与组织接触，以满足不同的需求。
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