(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs)著;张文栋等译2003 年出版673 页ISBN:7030105656
本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书,全书共分九章,几乎涉及MEMS技术的所有研究领域,畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理,并在此基础上,对典型器件和系,统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...
(印)v.k.康纳著;张文栋等译2014 年出版486 页ISBN:9787030418210
本书是一部内容丰富、易读易用的纳米传感器论著。首先介绍纳米传感器的分类和基础术语,然后概述纳米传感器加工中所运用的重要纳米材料和纳米技术的性能和特性以及纳米传感器实验室,并按照传感器类型系统地介...