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（苏）普多夫金，В.И.著；（苏）多林斯基编注；罗慧生等译1962 年出版627 页ISBN：8061·1002

（美）科多瓦（Cordova，J.R.），（美）布拉斯（Bras，R.L.）著；谢安周等译1985 年出版250 页ISBN：

（德）W. Menz等著；王春海，于杰等译2003 年出版468 页ISBN：7502546928

本书介绍了微系统技术领域内的相关知识和基本工艺方法，如单品硅生产、光削技术、封装技术等。

杰罗姆 G.格伦（Jerome C.Glenn），西奥多 J.戈登（Theodore J.Gordon）著；王如松等译2002 年出版82 页ISBN：7500561083

维丘科夫等著；邱竹贤等译1990 年出版298 页ISBN：7538210105

（苏）维谢洛夫（А.И.Веселов）著；熊赛安等译1958 年出版187 页ISBN：15062·811

（美）Brian Marick著；韩柯等译2003 年出版472 页ISBN：7111127943

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（日）山本惠三著；张干城等译1989 年出版244 页ISBN：7536611331

（丹）郝林森著；王慧敏等译2003 年出版410 页ISBN：7563341218

（美）约翰·O.麦克莱恩（John O.McClain）等著；黄卫伟等译2001 年出版512 页ISBN：7300038255