书籍 微系统技术的封面

微系统技术

(德)W. Menz等著 王春海 于杰等译

出版社

北京:化学工业出版社

出版时间

2003

ISBN

7502546928

标注页数

468 页

PDF页数

485 页

书籍介绍
本书介绍了微系统技术领域内的相关知识和基本工艺方法,如单品硅生产、光削技术、封装技术等。
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