顾文琪主编;顾文琪,王理明,薛虹,方光荣,张福安,刘祖京,黄经筒,杨忠山著2004 年出版310 页ISBN:7563913009
本书作者长期从事电子束曝光技术的研究和装备的研制,积累了丰富的经验。本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景,同时,详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和...
俞理明总主编;吴云,毛锋主编;冯婷,黄心群,张前蓉副主编;毛锋,宋海燕,王晓宁,吴云,黄心群,徐海江,王映宇,杜萍萍,宋瑞梅,牛娜,徐璐璐,俞理明,冯婷,张前蓉,李龙,齐静,王迎春编者2014 年出版235 页ISBN:7313054012