书籍 电子束曝光微纳加工技术的封面

电子束曝光微纳加工技术

顾文琪主编 顾文琪 王理明 薛虹 方光荣 张福安 刘祖京 黄经筒 杨忠山著

出版社

北京:北京工业大学出版社

出版时间

2004

ISBN

7563913009

标注页数

310 页

PDF页数

325 页

书籍介绍
本书作者长期从事电子束曝光技术的研究和装备的研制,积累了丰富的经验。本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景,同时,详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标,电子光学柱、精密工作台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。本书可作为微电子专用领域的科技人员和从事微电子、微光学、微机械等微纳加工技术领域的科技人员的技术参考书,同时还可作为高等院校专业教师、研究生的参考用书。
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