电子束曝光微纳加工技术

本书作者长期从事电子束曝光技术的研究和装备的研制，积累了丰富的经验。本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时，详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标，电子光学柱、精密工作台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。本书可作为微电子专用领域的科技人员和从事微电子、微光学、微机械等微纳加工技术领域的科技人员的技术参考书，同时还可作为高等院校专业教师、研究生的参考用书。