(英)(R.阿皮尼亚内西)(Richard Appignanesi)著;(英)(C.加勒特)(Chris Garratt)绘;黄训庆译1998 年出版177 页ISBN:7805927316
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(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs)著;张文栋等译2003 年出版673 页ISBN:7030105656
本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书,全书共分九章,几乎涉及MEMS技术的所有研究领域,畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理,并在此基础上,对典型器件和系,统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...
(美)詹姆斯·F·温德(James F. Vander),(美)简瑟·A格鲁特(Janice A. Ganlt)主编;于路珍等译2000 年出版512 页ISBN:7502748032