射频微机电系统的理论、设计、制备及应用

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张海霞，缪雯，方东明著2014 年出版416 页ISBN：9787030389961

本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多...