射频微机电系统的理论、设计、制备及应用

本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多。本书可作为相关领域本科生、研究生和教师的教学参考书，并可供相关的科技人员参考。