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DAVID KOVACS2001 年出版414 页ISBN：

DAVID KOVACS1998 年出版456 页ISBN：

DAVID KOVACS2002 年出版605 页ISBN：

DAVID KOVACS2002 年出版455 页ISBN：

DAVID KOVACS2005 年出版519 页ISBN：

DAVID KOVACS1999 年出版512 页ISBN：

（美）Diane K.Kovacs著；陈本池等译1996 年出版129 页ISBN：7505337025

ARPAD KOVACS2015 年出版111 页ISBN：9781606064412

MICHAEL J.AMINOFF FRANCOIS BOLLER AND DICK F.SWAAB GABOR G.KOVACS AND IRINA ALAFUZOFF2017 年出版619 页ISBN：0128023952

（美）格雷戈里 T. A.科瓦奇（Gregory T. A. Kovacs）著；张文栋等译2003 年出版673 页ISBN：7030105656

本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系，统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...