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（英）汤姆·珀西瓦尔绘著；于湛瑶译2017 年出版30 页ISBN：9787530152881

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（美）格雷戈里 T. A.科瓦奇（Gregory T. A. Kovacs）著；张文栋等译2003 年出版673 页ISBN：7030105656

本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系，统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...

（A.埃德内）Andrew Edney，（D.泰勒）David Taylor原著；蒋金蓉等译1999 年出版72 页ISBN：7540420804

Leonard G. Gomella�� Steven A. Haist， Marianne Billeter原著；蔡东龙编译2002 年出版874 页ISBN：9574932915

（德）茨威格，A.著；柯青译1962 年出版533 页ISBN：10019·1671

（波）A.贝卡拉著；朱裕栋译1981 年出版226 页ISBN：13031·1670

（英）斯克德（Sked，A.），（英）库克（Cook，C.）著；王子珍，秦新民译1985 年出版299 页ISBN：3003·1714

（法）蒂博代（Thibaudet，A.）著；赵坚译1989 年出版188 页ISBN：7108001640

（法）A.希林著；殷丁，曹永来译1981 年出版424 页ISBN：15044·4611

（美）理查德·A.波斯纳（Richard A.Posner）著；武欣，凌斌译2003 年出版484 页ISBN：7562022860