机械制造工厂和车间设计手册 第6册 工厂总图技术经济及土建公用设计
(苏)E·C·杨波尔斯基,常振福,鲁景箴等译1982 年出版354 页ISBN:15033·5186
李惠军编著2009 年出版435 页ISBN:9787121077531
本书介绍当代集成电路制造的基础工艺,重点介绍基本原理和当前集成电路芯片制造技术的最新发展。本书共18章,主要内容包括:硅材料及衬底制备、外延生长工艺原理、氧化介质薄膜生长、半导体的高温掺杂、离子注入...
机械制造工厂机械动力设备修理技术手册 第1篇 第3册 圆柱齿轮传动
中国机械工程学会,第一机械工业部主编1976 年出版404 页ISBN:15033·4308
机械制造工厂机械动力设备修理技术手册 第1篇 圆锥齿轮传动 第4册
中国机械工程学会,第一机械工业部主编1978 年出版599 页ISBN:15033·4387