王喆垚编著2014 年出版678 页ISBN：9787302354994
本书全面系统介绍三维集成技术的发展历史、制造实现技术、设计技术以及电学和力学可靠性等相关问题，以从事相关研究开发工作的需求出发，以三维集成实现技术作为线索，深入介绍三维互连制造技术、三维集成方法、...
李惠军编著2014 年出版315 页ISBN：9787302370321
本课程教学内容讲授现代集成电路制造基础工艺，重点阐述核心及关键制造工艺的基本原理。教学内容共分为十六章节。本书内容丰富、文字简练、图文并茂、结合实际，较为详尽地阐述了当代集成电路制造领域的核心知...
