THE SCIENCE AND ENGINEERING OF MICROELECTRONIC FABRICATION SECOND EDOITON
(美)STEPHEN A.CAMPBELL著2003 年出版603 页ISBN:7505386263
本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
THE PARTICLE ATLAS EDITION TWO VOLUME I PRINCIPLES AND TECHNIQUES
WALTER C.MCCRONE1973 年出版296 页ISBN:0250400081