(美)Stephen A. Campbell著;曾莹等译(明尼苏达大学)2003 年出版613 页ISBN:7505383132
本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
“十三五”普通高等教育本科规划教材 机械制造技术基础课程设计指导书
储开宇主编;王进峰副主编2017 年出版334 页ISBN:9787519800048
本书为“十三五”普通高等教育本科规划教材。本书共分7章,内容包括课程设计指导、机械加工工艺规程制定与专用夹具的设计、各类机床夹具的设计要点与常见结构错误、课程设计实例、常见加工方法加工余量与切...