射频等离子体物理学相关电子书下载

2222 年出版0 页ISBN：

（法）帕斯卡·夏伯特，（英）尼古拉斯·布雷斯韦特著；王友年，徐军，宋远红译2015 年出版321 页ISBN：9787030459190

针对微电子工业中的材料处理工艺（如半导体芯片加工），介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前最重要的三种射频等离子体源（单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合）及其关联性。书中也......

徐家鸾，金尚宪编著1981 年出版637 页ISBN：15175·219

国家自然科学基金委员会编1994 年出版176 页ISBN：7030042972

康寿万，陈雁萍编1981 年出版106 页ISBN：13031·0710

蔡诗东，夏蒙棼等编著1985 年出版161 页ISBN：17031·212

J.G.林哈脱（J.G.Linhart0著；陆全康，徐学基译1962 年出版264 页ISBN：13119·489

博伊德（T.J.M.Boyd），桑德森（J.J.Sanderson）著2004 年出版532 页ISBN：

（美）F.F.CHEN著；林光海译2016 年出版240 页ISBN：7030475152

陈（F.F.Chen）著；林光海译1980 年出版214 页ISBN：13012·0490