刘相梅著2016 年出版116 页ISBN:9787566111920
本书在总结目前低温尘埃等离子体研究成果的基础上,结合作者多年的研究成果,阐述了不同气体环境中尘埃颗粒的形成机制。
高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN:9787302489597
系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变,深入介绍了该技术的基本机理,在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望;最后以...
一、安哥拉兔毛与羊毛及聚酛胺混合物的染色 二、羊毛纤维的低温等离子处理 三、毛粘混纺织物的一浴法染色
上海市毛麻纺织科学技术研究所1988 年出版38 页ISBN: