国外大学优秀教材·工业工程系列 制造工程与技术 第5版 影印版
（美）卡帕克金（Kalpakjian，S.），（美）施米德（Schmid，S.）著2006 年出版1299 页ISBN：9787302125358
本书作者在多年实践经验和理论研究的基础上，通过对制造工程中的数学、技术和实践等问题进行大量定性的论述和对若干案例的讨论，全面系统地介绍了各种制造技术。其重点是介绍各种与制造工程相关的科学技术方法...
（美）坎贝尔（Campbell，S.A.）著（明尼苏达大学电子与计算机工程系）2003 年出版604 页ISBN：7505386263
本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
