SMART STRUCTURES AND MATERIALS 1999 SMART ELECTRONICS AND MEMS VOLUME 3673
1999 年出版382 页ISBN：0819431478
MEMS and Nanotechnology-Based Sensors and Devices for Communications
Medical and Aerospace Applications2008 年出版401 页ISBN：
卢桂章，赵新著2010 年出版278 页ISBN：9787030292209
本书主要内容包括：微机电系统概述，微机电系统制造技术，微机电系统设计方法，基于IP库的MEMS设计方法，微机电系统系统级建模，微机电系统器件级建模、仿真及可视化，微机电系统工艺级建模、仿真及可视化。...
FOUNDATIONS OF MEMS SECOND EDITION
CHANG LIU2011 年出版576 页ISBN：7111358279
本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传...
