张以忱等编著2009 年出版558 页ISBN:9787502450205
本书论述了薄膜技术的基础理论,介绍了各种真空镀膜技术原理、真空镀膜工艺及应用特点。全书共分10章,主要内容有:薄膜与表面技术基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、化学...
郭方准著2012 年出版142 页ISBN:9787561170359
真空技术和物理学的进步紧密相关,目前已经是表面科学、半导体应用、高能粒子加速器、核聚变研究装置和宇宙开发领域不可缺少的技术。当前人类面临的四大课题:环境、能源、生命和新材料,这些课题的解决,无一例外...
张以忱主编2014 年出版250 页ISBN:9787502466381
本书共分9章,系统地阐述了各种真空镀膜技术的基本概念和应用、真空镀膜机结构及蒸发源、磁控靶的设计计算、薄膜厚度的测量技术、薄膜与表面分析与检测技术;重点介绍了一些近年来新出现的镀膜方法与技术及真...