薄膜光学讲座一薄膜光学的数学物理基础

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浙江大学光仪系物光专业镀膜组1973 年出版86 页ISBN：

薄膜物理

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李谟介编著（华中师范大学老干处）1990 年出版258 页ISBN：7562205825

本书阐述薄膜技术的有关原理及其生长理论、薄膜的结晶学结构、力学性质等知识。

薄膜物理与技术

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陈国平主编1993 年出版217 页ISBN：7810237268

薄膜物理

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曲喜新，过璧君编著1994 年出版349 页ISBN：7505324616

薄膜物理学

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埃克托瓦（Eckertova，L.）著；五广阳译1986 年出版255 页ISBN：13031·3366

薄膜物理

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曲喜新编著1986 年出版197 页ISBN：15119·2511

薄膜物理

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薛增泉等编著1991 年出版485 页ISBN：7505313363

半导体及薄膜物理

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恽正中等编1981 年出版275 页ISBN：

薄膜物理与技术

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杨邦朝，王文生编著1994 年出版237 页ISBN：7810167499

本书主要论述薄膜的制造技术与薄膜物理的基础内容。书中系统介绍了各种成膜技术的基本原理与方法，包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、化学气相沉积、溶液制膜技术以及膜厚的测量与监控等。...

半导体薄膜技术与物理

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叶志镇…等编著2008 年出版278 页ISBN：9787308066174

本书介绍半导体薄膜的真空技术；物理气相沉积技术（PVD）；化学气相沉积技术（CVD）；分子束外延技术；液相外延技术等内容。