郑伟涛编著2008 年出版249 页ISBN：9787122013149
本书重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评论和展望。...
（美）奥林著2013 年出版484 页ISBN：9787118081442
本书详细介绍了薄膜材料科学的各个方面，内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛，资料全面，是一本薄膜材料科学领域的权威之作。...
（英）奥林著2006 年出版794 页ISBN：7506282070
本书详细介绍了涉及薄膜材料科学的各个方面，内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛，资料全面，各章后面附有习题，是一本真正意义上的薄膜科学与技术的教科书。...
陈光华，邓金祥等编著2012 年出版340 页ISBN：9787122131812
本书内容既介绍各类固体薄膜的研究和发展情况，也包括国内学者和著者的研究成果，反映了当前学科的先进水平。第二版基本上保持了第一版的原貌。与第一版相比，增加了III-V族化合物太阳能电池、聚光太阳能电池和...
唐伟忠著2003 年出版323 页ISBN：7502430970
本书以薄膜材料为中心，系统地介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识，各种物理和化学气相沉积技术和方法，薄膜材料的形核及生长理论，薄膜材料微观结构的形成以及薄膜材料的厚度、微观结构和成分的表征方法等。...
吴自勤，王兵，孙霞著2013 年出版357 页ISBN：9787030367310
本书由以下五部分（共15章）组成．1.界面相和表面结构（1～4章）；2.薄膜中的缺陷和扩散（5～7章）；3.薄膜的成核和长大理论（8～9章）；4.金属、半导体、氧化物薄膜的生长和薄膜中的分形现象（10～13章）；5.薄膜的制备和......
陈昌杰主编2004 年出版522 页ISBN：7502556869
本书内容为塑料印刷用油墨的配色、塑料版印刷技术、及其他印刷方法等。
叶志镇，吕建国，吕斌，张银珠编著2014 年出版237 页ISBN：9787308139106
“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材，浙江大学材料科学与技术丛书。本科生教学用书，介绍半导体薄膜的真空技术；物理气相沉积技术（PVD）；化学气相沉积技术（CVD）；分子束外延技术；液相外延技术等内容。...
（美）H.ANGUS MACLEOD著；徐德刚，贾东方，王与烨，钟凯译；王占山，张锦龙审校2016 年出版561 页ISBN：7030473929
