书籍 国外大规模集成电路基础材料的封面

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上海科学技术情报研究所编

购买点数

7

出版社

上海:上海科学技术文献出版社

出版时间

1979

ISBN

15192·9

标注页数

52 页

PDF页数

58 页

图书目录

硅材料 1

扩散源 7

光刻胶 16

掩模版 22

超纯水 28

超纯气体 33

超纯化学试剂 37

空气净化 40

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