大规模集成电路译文集PDF电子书下载

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目 录 5

一、国外大规模集成电路发展概况 5

二、MOS存储器 24

三、半导体矩阵制造自动设计 40

——选择布线系统 40

四、单片式大规模集成电路的多层布线技术 62

五、集成电路、大规模集成 74

电路中的玻璃工艺 74

六、大规模集成电路的两种互连技术 86

七、大规模集成电路的检测图案 100

八、大规模集成电路的失效机构 114

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