聚合物微纳制造技术

本书系统地介绍了RF MEMS技术所涵盖的各种器件，以RF MEMS 理论设计和工艺实现为基础，阐述了RF MEMS器件的模型设计、结构制备、性能测试等，详细论述了RF MEMS开关、电感、电容、移相器、谐振器、振荡器、滤波器、天线等器件和 RF MEMS器件的可重构MEMS网络的设计方法、技巧以及工艺技术。最后两章论述了RF MEMS器件的封装技术和可靠性问题。