书籍 聚合物微纳制造技术的封面

聚合物微纳制造技术

王立鼎 刘冲 徐征编著

出版社

北京:国防工业出版社

出版时间

2012

ISBN

9787118083590

标注页数

208 页

PDF页数

229 页

书籍介绍
本书系统地介绍了RF MEMS技术所涵盖的各种器件,以RF MEMS 理论设计和工艺实现为基础,阐述了RF MEMS器件的模型设计、结构制备、性能测试等,详细论述了RF MEMS开关、电感、电容、移相器、谐振器、振荡器、滤波器、天线等器件和 RF MEMS器件的可重构MEMS网络的设计方法、技巧以及工艺技术。最后两章论述了RF MEMS器件的封装技术和可靠性问题。
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