微机电耦合动力学

本书综合运用连续体动力学、静电学、流体动力学等理论，建立了单微梁、双微梁及微板的机电耦合动力学模型，考虑静电力的非线性以及机电耦合因素，对静电力作用下微构件的自由振动、在简谐激励作用下的受迫振动、弱非线性系统自由振动、接近共振的受迫振动、远离共振的受迫振动等动力学特性进行了研究。还建立了微梁及微板的机电流体三场耦合动力学模型，考虑非线性流体阻尼及非线性静电力的影响，对三场耦合微构件动力学特性进行了研究。