微系统设计

本书是美国麻省理工学院（MIT）Senturia教授根据自己在MIT电子工程系所讲授课程的基础上进行扩展而编写的研究生教材，已经被美国十多所大学采用（包括Stanford等著名大学）。该书系统全面地介绍了涉及微机电系统设计的方法、理论和技术，包括MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟、相关电子线路和系统。全书详细介绍了利用集总参数方法、弹性力学和结构力学方法、能量分析法对MEMS器件进行建模、模拟和分析的方法，同时对微系统设计所涉及的能量耗散问题和流体力学系统、电路、噪声和封装问题等进行了分析和介绍。通过应用实例研究，详细介绍了压阻传感器、电容加速度计、静电式投影显示器件、压电陀螺、DNA放大芯片和气体传感器等器件和系统的设计和制作。