微光机电系统

本书共由三部分构成。第一部分重点介绍光微机电系统在各领域中的应用，即光开关、镜像陈列、衰减器；显示器、扫描仪；光谱检测化，可变波长光学元件；执行机构可动结构体；传感与传感器等第二部分是光微机电光学，主要介绍光微机电系统中应用的光学理，即光反射，折射，衍射，干涉，光辐射压等。第三部分主要介绍材料、加工、封装等。