书籍 微细加工技术的封面

微细加工技术

刘明 谢常青 王丛舜等编著

出版社

北京:化学工业出版社

出版时间

2004

ISBN

7502560777

标注页数

177 页

PDF页数

186 页

书籍介绍
本书介绍了微细加工技术的基础知识、光学曝光技术、光学分辨率增强技术等以及其他纳米加工技术。
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