脉冲激光沉积动力学原理

本书介绍了自主创新从整体上构建的包括PLD各工艺阶段的自洽动力学理论框架；并阐明各工艺阶段的物理机制。在烧蚀阶段全面考虑韧致辐射和光致电离效应，建立含蒸发、热源和动态靶材吸收率综合烧蚀模型，还全面描写从纳秒到飞秒脉冲激光的综合非傅立叶热传导新模型。在等离子体膨胀阶段，介绍作者构建等离子体演化的，有限爆炸冲击波模型；发展了准分子动力学的模拟方法，可以准确地描述了等离子体羽辉演化过程。基于局域能量动量守恒定律，提出了更为符合实际的新的等离子体演化方程。薄膜沉积生长阶段首次建立了PLD薄膜生长的蒙特卡罗的物理模型：发现在薄膜生长的早期阶段，生长密度函数与激光强度和覆盖角依赖关系遵从广义标度规律，并确定标度指数的数值；发现生长岛密度相对于脉冲激光数具有新的标度率。