生化MEMS器件

本书选择了受到国家项目支持的几个技术主题，在微型泵和微型阀、微悬臂梁生化传感器、微型FAIMS、微光谱仪、基于MEMS的细胞操作与分析技术等几个方面，系统介绍了我国在生化MEMS方面的研究成果。这几个技术主题从器件结构上和敏感技术上，都有独到的特点。