薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用

本书详细介绍了FBAR谐振器模型所需的基本理论、设计原则、制备技术和应用方法等，包括薄膜体声波谐振器的理论模型、压电薄膜的制备方法、AlN薄膜的溅射沉积和刻蚀、横膈膜型薄膜体声波谐振器、固体装配型体声波谐振器、薄膜体声波谐振器的应用、高选择性压电晶体传感器的表面纳米组装敏感化等内容。本书在理论方面力求清晰易懂，在技术发展动向方面反应了FBAR技术的应用现状和前景，可作为高等院校电子器件、信息传感、通讯系统、自动化、微机电系统（MEMS）、微器件制造、国防等领域的科技研发人员和实验室检测人员指导用书，以及大专院校相关专业师生人员的阅读参考。